晶圓測試高低溫真空探針臺

產品型號：HCVP系列

廠商性質：生產廠家

所在地：北京市

更新日期：2026-02-13

產品簡介：

華測儀器HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺通過高真空環境、電學測量和多功能集成設計為芯片、晶圓、傳感器等微納器件的性能測試提供了穩定的解決方案。

產品特性Product characteristics

品牌	華測

華測儀器HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺

價格僅供參考，如需獲取更詳盡的產品技術規格書、定制方案或應用案例，歡迎致電我司技術工程師

HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺由華測儀器生產，是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置，接下來通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準確扎到被測點，從而使其訊,號線與外部測試機導通，通過測試機可以得到所需要的電性能參數。

產品參數

腔體

樣品臺尺寸：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

真空度：10^-6torr

探針臂接口：至多6個探針臂接口

其它接口：信號接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦 / 制冷機

控制方式：開循環手動 / 閉循環自動控制

溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K~450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環形光源 / 同軸光源

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

晶圓測試高低溫真空探針臺

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